Υπερηχητική μηχανή ψεκασμού ημιαγωγών

Μηχανή ψεκαστικής επικάλυψης με υπερήχους ημιαγωγούς

Ultrasonic semiconductor atomization spraying is a precision thin-film deposition technology that uses high-frequency ultrasonic energy to atomize semiconductor materials (such as photoresists and conductive materials) into fineΟι σταγόνες αυτές ψεκάζονται στη συνέχεια με ακρίβεια στην επιφάνεια του υποστρώματος χρησιμοποιώντας αέριο μεταφορέα, με αποτέλεσμα υψηλής ποιότητας, ομοιόμορφες λεπτές επικαλύψεις.Η τεχνολογία αυτή προσφέρει πλεονεκτήματα όπως υψηλή αποδοτικότηταΧρησιμοποιείται ευρέως στην κατασκευή ημιαγωγών, στις νέες ενέργειες και στις γυάλινες επικάλυψεις, αντικαθιστώντας τις παραδοσιακές μεθόδους ψεκασμού.

Αρχή λειτουργίας

1- Υπερήχθη ατομικοποίηση:

Ο πυρήνας της συσκευής είναι ο υπερηχητικός πύργος, ο οποίος περιέχει έναν μετατροπέα που μετατρέπει την ηλεκτρική ενέργεια σε υψηλής συχνότητας μηχανικές δονήσεις.

2- Ατομικοποίηση υγρού:

Καθώς το υγρό (διάλυμα, αέριο ή εναιώρημα) ρέει μέσα από τον στόμιο, ο δονητικός ατομικοποιητής παράγει δονήσεις.το υγρό διασπάται σε σταγονίδια μικρομεγέθους.

3Παράδοση αερίου μεταφορέα:

Οι ατομικευμένες σταγόνες μεταφέρονται στη συνέχεια ομοιόμορφα στην επιφάνεια του υποστρώματος από προκαθορισμένη ποσότητα αερίου φορέα (όπως ο αέρας).

4. Αποθέματα λεπτής ταινίας:

Οι σταγόνες εναποτίθενται στο υπόστρωμα, σχηματίζοντας μια συνεχή λεπτή επικάλυψη με φιλμ.

Πλεονεκτήματα στις εφαρμογές των ημιαγωγών

Υψηλή ακρίβεια και ομοιομορφία:

Η ικανότητα αποθήκευσης υπερ- λεπτών και ομοιόμορφων λεπτών επικαλύψεων είναι ζωτικής σημασίας για εφαρμογές στην κατασκευή ημιαγωγών, όπως φωτοανθεκτικοί, αγωγικοί φιλμ και μονωτικοί φιλμ,που απαιτούν εξαιρετικά υψηλή ακρίβεια.

Μειωμένη απώλεια υλικού:

Σε σύγκριση με την παραδοσιακή ψεκασμό, η υπερηχητική ψεκασμός δεν παράγει ουσιαστικά καμία σταγόνα αναπήδηση ή υπερβολική ψεκασμό, αυξάνοντας τη χρήση του υλικού αρκετές φορές,το οποίο το καθιστά ιδιαίτερα κατάλληλο για την επικάλυψη ακριβών υλικών.

Ελαφριά ψεκασμός:

Η διαδικασία ψεκασμού είναι ήπια και δεν βλάπτει το υπόστρωμα, καθιστώντας το κατάλληλο για εύθραυστα υλικά ημιαγωγών και ηλεκτρονικά εξαρτήματα.

Διαφορετικοί ακροφύσια:

Οι ακροφύσια διαφόρων πλάτων, μήκων, σχημάτων και ρυθμών ροής μπορούν να επιλεγούν για να ανταποκριθούν σε συγκεκριμένες απαιτήσεις εφαρμογής, επιτρέποντας την ομοιόμορφη επικάλυψη τοπικών ή μεγάλων περιοχών.